旋轉接觸角測量?jì)x在半導體晶圓生產(chǎn)中的應用

　　旋轉接觸角測量?jì)x主要用于測量液體對固體的接觸角，即液體對固體的浸潤性，可以測量各種液體對各種材料的接觸角，而接觸角是表征材料表面潤濕行難呢過(guò)的主要手段，為了確保光學(xué)接觸角測量?jì)x的壽命以及測量數據的準確性，我們在使用的時(shí)候要了解它的維護和保養的主要事項。

 

　　測量?jì)x可以用于：測量光刻膠、晶圓、光伏、塑料、玻璃、陶瓷、木材、紙張、金屬等材料的的潤濕性、分析表面清潔度、活化過(guò)程的質(zhì)量保證，例如測試等離子處理后的效果、測試疏水涂料和其他涂料的效果等等。

 
          

 

　　接觸角測量?jì)x應放在清潔干燥的室內，避免光學(xué)零件表面污損，金屬零件生銹，塵埃雜物落入運動(dòng)導軌，影響儀器性能；傳動(dòng)機構及運動(dòng)導軌，應定期加潤滑油，使機構運動(dòng)順暢，保持良好的使用狀態(tài)。

 

　　半導體晶圓生產(chǎn)要求品質(zhì)是非常高的，晶圓表面上的任何瑕疵污漬都會(huì )造成芯片的損失，所以需要用接觸角測量?jì)x檢測晶圓表面潤濕性等來(lái)判斷晶圓表面是否達標。

 

　　測量晶圓材料表面的鋪展、滲透、吸收等潤濕行為，測量靜、動(dòng)態(tài)接觸角、測量分析固體的表面自由能、液體的界面和表面張力、全自動(dòng)注射系統、前進(jìn)后退角、滾動(dòng)滑落角等功能。

 

　　液體界面的粘彈性和穩定性：如乳狀液／泡沫等體系的穩定性研究等等各種與液／流／固－體系相關(guān)的界面現象和過(guò)程的測量和分析等。全自動(dòng)檢測整體解決方案，可搭配至流水線(xiàn)上使用，提高檢測效率。